功能薄膜特性测试仪 GTFC-1 |
GTFC-1功能薄膜特性测试仪由四探针测试仪和非晶硅薄膜电导率测量仪组成. 四探针测试仪由主机、测试架等部分组成, 测试结果由数字表头直接显示. 主机主要由高灵敏度直流数字电压表和高稳定度恒流源组成. 测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针制成, 故定位准确、游移率小、寿命长. 非晶硅薄膜电导率测量仪由样品室、温控系统、真空系统、高阻测量系统等部分组成. 仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、测量范围宽、结构紧凑、使用方便等特点. 仪器适用于半导ω 体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能的测试.
|
主要技术参数 ? 测量范围: 电阻率:0.001~200Ω. cm; 方块电阻:0.01~2000Ω/□; 电导率:0.005~1000s/cm; 电阻:0.001~200Ω. cm ? 可测晶片直径: 200mm×200mm ? 探针间距:1±0.01mm; 针间绝缘电阻: ≥1000MΩ; 机械游移率: ≤0.3%; 探针: 碳化钨或高速钢Ф0.5mm 探针压力:5~16牛顿(总力) ? 恒流源: 电流量程分为0.1、1、10、100(mA)四档, 各档电流连续可调. 误差<±0.5% ? 数字电压表量程:0~199. 99mV; 分辨率:10μV, 输入阻抗>1000MΩ; 精度: ±0.1% ? 本底真空度: ≤10Pa; 气压可控范围:10~400Pa ? 衬底加热温度: 室温~200℃ ? 指针式高阻计: 电阻测量范围:1×106~1×1017Ω, 精度: ±10%; 微电流测试:1×10-5~1×10-14A; 精度: ±20% 额定电压:10、100、250、500、1000V; 精度: ±5%
|
出厂价: GTFC-1 ¥40320.00元; 指针式高阻计 ¥9360.00元 |