电子束蒸发镀膜机 GT-500ZZS |
GT-500ZZS电子束蒸发镀膜机适用于制备导电薄膜, 半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜, 高性能薄膜研究及新材料科学研究工作. 其主要特点为功能强、镀膜质量稳定、重复性好、操作简便.
主要参数 ? 镀膜室体积:500×500×600mm, 特殊规格可定做 ? 极限真空度:6.7×10-5 Pa, 恢复真空:从大气抽至6.7×10-4 Pa ≤(40分钟) ? 真空抽气系统: 机械泵与复合分子泵组成; 真空测量系统: 复合数显真】空计 |
? 电子束蒸发源:270°E型电子枪及高压电源, 电子枪々功率0~6KW可调电阻蒸发源:铜水冷@ 电极4根, 功率:3kW/10V两组 ? 结构形式:立式前开门后置抽气系统 ? 工件烘烤温度:室温~800℃可控可调(PID控温) ? 旋转夹具:公转或■行星公自转夹具. 速度从0r~30r/min 无级可调 ? 选配件:光学膜厚测量系╲统、石英晶振测厚仪、高压离子轰击、霍尔离子源□、冷却︻水机组等 ? 供电电源:三相AC380V,50Hz; 整机功率22KW
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出厂价: GT-500ZZS ¥616800.00元 视配╳置而定 |