电子束蒸发镀膜装置 GTBP-1 |
GTBP-1电子束蒸发镀膜装置主要采用环形灯丝电子枪实现电子束蒸发实验, 具有结构简单、直观易操作等优点, 蒸发材料可以是金属, 也可以是非金属材料, 主要用来开设电子束蒸发实验课程, 亦可以满足科研镀膜需要. |
主要参数
? 薄膜沉积室:由不锈钢底盘与不锈钢钟罩组成 ? 蒸发电源:高压电源、灯丝电源各1台; 电子枪:采用环形灯丝电子枪 ? 真空系统:旋片机械泵和扩散泵组成(可选配分子泵); ? 极限真空:6.6×10-4Pa; 真空测量方式:数显复合真@ 空计, 测量范围从大气到10-5Pa ? 抽速:从大气抽到10-3Pa; 小于50分钟 ? 供电电源:AC220V,50Hz; 整机功率3KW ? 对扩散泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警, 并执行相应保护措施
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出厂价: GTBP-1 ¥184800.00元 另配分光光度计、超声波清洗机等 |