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GT2010真空实验仪是一个真空实验平台, 能够很直观反映真空获得的全过程. 由真空获得部分、真空镀膜机构和电控及仪表等部分组成, 结构合理, 运行安全可靠, 适合于对学生开展真空实验教学.
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实验项目 1、真空的获得与测量; 2、蒸发法薄膜制备; 主要特点 ? 设备的真空反应室、油扩散泵、真空管路部件全透明; ? 电气控制有安全防护, 防止误操作对操作人员和设备造成的损伤; ? 管路采用不锈钢与真︼空橡胶管结合, 电控双向截止阀▓, 真空室内有烘烤除气设备; ? 一机多用的功能, 针对高校开展综合性、设计性和开放性∩实验的要求, 预留有大空间的真空室, 在配置一些组件后, 就能方便开设其他扩展实验项目
主要参数 ? 真空室: 304不锈钢◢底盘和玻璃钟罩组成, 尺寸: Φ230×260mm; |
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抽气系统: GT2010/ GT2010A型: 2XZ-4机械泵+四级玻★璃扩散泵, 需水冷; GT2010F型: 2XZ-4机械泵+FF100/110分子泵; 风冷; ? 极限真空: GT2010/ GT2010A型: 9. 6×10-4Pa; 恢复真空: 5×10-3Pa＜40分钟; GT2010F型: 8×10-5Pa; 恢复真空: 2×10-3Pa＜40分钟; ? 基本配置: GT2010: 蒸发电极一对, 蒸发功率: AC10V/150A; 衬底加热、烘烤除气; GT2010A /GT2010F: 蒸发电极一对, 蒸发功率: AC10V/150A; 衬底加热、烘烤除气; 带直流溅射系统. ? 真空测量: 数显ζ复合真空计; ? 衬底温度: 室温～300℃(PID控温); ? 工作电压: AC220V±5%, 50Hz; 整机功率: 3kW; 16A插座; ? 环境要求: 温度低于30℃, 湿度≤70％; ? 用户需自备或选购冷却水系统. |
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出厂价 GT2010 ￥99360.00元 需另配循环々水冷却机组 GT2010A ￥122400.00元 需另配循环水冷却机组 GT2010F ￥142560.00元 含玻璃真空♂室、机械泵、分子泵 |
