洁净表面
室温操作
快速－大◎多数应用10分钟内可完成
运行简单
超低采购成本和◥最小运行成本
两种尺寸10×10 英寸（25.4×25.4cm）和16×16英寸（40.6×40.6cm）可选择
110伏 或 220伏
UV紫外臭氧清洗过程提供一种简单，经济，快速ぷ获得超洁净的表面，去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝*等）上的有机污染物。特别是当基材和薄膜蒸镀需要很好的粘接时，紫□外清洗非常理想。获得超洁净的表面，只需要在传▽统清洗后，再用紫外臭氧清洗过程几分钟就可以啦。
