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1.一次可照射多片，多组程序设定，一键式全自动完成所有操作2.台式抽屉式结构方便取放WAFER，操作安全可靠3.适用于3inch～12inch的wafer4.采用进口光源，使用寿命长，安全性高，热量小，功耗低
