PE-CVD结构特点介绍：
1、PECVD系列真空管式高温烧︽结炉如图所示,集控制系统△与炉膛为一体；
2、炉衬使用真空成型高纯氧化铝聚轻材料，采用进口高温合金电阻丝为加热元件；
3、高纯石英管横穿于炉体中间作为的炉膛，炉管两端用不锈钢法兰密封，工件式样在管中加热，加热元件
与炉管平行，均匀地分布在炉管外，有效的保证了温场的均匀性；
4、测温采用性能稳定，长寿命的“K”型热电偶，以提高控温的精准性；
5、它是专为高等院∞校﹑科研院所及工矿企业对金ω 属，非金属及其它化和物材料在气氛或真空状态下进行烧
结﹑融化﹑分析而研制的专用※设备；
6、MPECVD系列真空管式炉能够快速开启，快速升降▆温，方便客户对特↙殊材料的装载，烧制和【观察；
7、炉体的控制面板配有触摸屏，控制」电源开关，配有电源和保险指示灯，以便随时观察本系统的工作状态。
基㊣ 本功能介绍：
1、辉光放电：在系统低于100Pa启动射频电源可以实现辉光放电；
2、加热：系统可以设△置30段温控程序，彩屏系统预存15条烧培曲①线，针对不同的样品，设置不同的预
设曲线，避免重复设置；
3、自动清◆洗功能：样品放入线圈的区域卐，配∴置好参数（PECVD功能配置），系统会自动抽真空，并
通入设⊙置的气体，自动启动辉光放点；
4、自动cvd功能：样品放入线圈的区域，配置好参数（PECVD功能配置），系统会自动抽真空，并通入
设置的气体，自动启动辉光放点；
5、智能能模式：实现自动清洗和cvd功能，样品不需移出，清洗cvd功能〖一键完成，并能实现多次的循
环操作；
6、通气时间可以设定：通过界面设置通气时间，时间到后，系统自】动停止流量计，达到节能环保的目的；
7、恒定真空控制：系统设置一个真空度的数◎值（见参数“真空设◤定值”），配合手动阀和真空泵，系统
能实现真空的恒〗定；
8、系统微正压控制：系统设置一个正压ㄨ值（见参数“真空设定值”），并配置好相应的气路，配合手动
放气阀，可以实现系统微正压的恒定；
9、系统正压保护功能：当因为◣误操作或者其他原因，系统压力超过保护值时（见参数“放气阀开启压力”），
系统会自动关闭进气，保护设备；
10、加热】炉膛移动的速度可以调节。
