进口LED紫外光源,光谱窄,杂波少,热效应小
线光源扫描结构,保证出射光平行
进口高透光材料,透光率高,均匀性好
三种可选模块,适应不同应用需求
* 最小解析线宽:1mil |
* 最小解析线距:1mil |
* 最大曝光幅【面:305mm×230mm |
* 光源:进口LED,线光源 |
* 波长:395nm |
* 产能:30PNL/H |
* 真空压力:≤0.6MPa |
* 进口PMMA晒架,透光率为95% |
* 设备内置微控制器,可进行程序设定 |
* 设备配有液晶屏交互界面,蜂鸣提☆示报警 |