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品　　牌：高科技仪器台

产品型号：JMTW系列三维纳米级精密定位工作台 (压电陶瓷驱▲动纳米级微动台)

适用范围：全阶段

所在地区：黑龙江

JMTW系列三维纳米级精密定位工作台

JMTW系列一维产品型号：JMTW3nz10/25/30/X/X

产品特点 高速响应; 压电陶瓷驱动; 较高的重复定位精度; 纳米级位ω　移分辨率; 机体材料分铝合金和钛合金; 具有开环和闭环两种; 采用数控、线切割等加工工艺，严格保证构结精度; 采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构； 采用先进的表面①处理工艺，提高了适应不同工作环境的能力

JMTW系列三维纳米级精密定位工作台选型说明 型号结构 解释 JMTW3nz10/25/30/X/X 开环例子：JMTW3nz10/L闭环例子：JMTW3nz10/S/L JMTW JMTW系列三维纳米级精密定位工作台 3 运动维数 nz 含有z向维∑数单位 10/25/100 行程距离,可选（单位：μm） X 开/闭环选择位，空位为开环，此位可选S或L（s-应△变片传感器/L-电感传感々器）） X 材料选择位此位●可选L或I（L-铝合金/I-INVAR合金）

JMTW系列三维纳米级精密定位工●作台技术参数

技术参数 型号 指标 jmtw3nz10/x/x jmtw3nz25/x/x Jmtw3nz100/x/x 单位 维数 X、Y、Z 轴 行程 10/10/10 25/25/25 100/100/100 μm±10% 传感器类♀型 s-应变片传感器/L-电感传感器 传感器信↘号 0～5 V 开环位◥移分辨率 0.25 0.625 0.7 nm 闭环位☉移分辨率 0.25 0.625 0.7 nm 开环重复定位精度 0.08 10% nm 闭◥环重复定位精度 0.02 nm 最大推力 1000 N 最大拉力 50 N 最大负载 4 Kg 固有频率 800～700 700～600 300～200 Hz 重量 0.15 0.30 1.5 Kg 控制电压 0～200 V 工作温度 -20～80 -14- ℃

JMTW系列三维纳米级精密定位工作台外形尺寸参数