(Mass Flow Meter
MFM)
量流量控制器
(Mass Flow Controller
用于对〇气体的质量流量进行精密测量
保和真空等多种领域╱的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括
电子工艺
,
CVD
;
熔炼、微●反应装置ω 、混气→配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
D07
重复性好、
软启动、
工作压力范围宽等特点
可以在高压或真空条♀件下工作√
其操作使用方〓便
可任
,
系列质量流量ぷ控制器和质量流量计一般与
系列流量显☆示仪等产品配套使用
控制器」与显示仪之间用专用电缆连接
(Mass Flow Meter
MFM)
量流量控制器
(Mass Flow Controller
用于对气体的质量流量进行精密测量
保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括
电子工艺
,
CVD
;
熔炼、微反应装置、混⊙气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
D07
重复性好、
软启动、
工作压力范围宽等特点
可以在高压或真空条件下工作
其操作使用方便
可任
,
系列质№量流量控制器和质量流量计一般与
系列流量显示仪等产品配套使︾用
控制器与显示仪之间用专用电缆连接
质量流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量◇控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科△研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离∑ 子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。 D07系列质量流量控制器和①质量流量计具有精度ㄨ高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便, 可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。 D07系列质量流量控制器和质量流量计一般与D08系列流量显示仪等产品配套使用,控制器与显示仪之间用专用电缆连接
