扫描型近接场光学显微分光系统

▼概要

日本分光株式会社生产的可以分光测定的扫描型接近场光学显微镜NFS系列，世界一流。这台装置能10-100nm左右的空间分解力进行显微分光测量。能在微小的领域观测光谱强度变化以及波峰变换可更好的对物质特性描述。

◆第30回井上春成賞　受賞

扫描型近接场光学显微分光系统

◆特征

世界第一台一体化扫描型近接场光学分光显微镜
数十～百nm高空间分辨率测量显微分光。
使用日本分光制的探头可准确使用特定大小的近接场光。
可同时测量样品表面微小的凹凸形状。和原子力显微∑　镜（AFM）类似的用法。
illumination（透过）、collection、 illumination－collection测量方式。

◆近接場光学显微分光装置

光纤前端产生的近接场光和样▼品表面相互作用产生漫反射光，检测漫反射光

对于微小领域的表ㄨ征方法有利用电子线的电子显微镜形态观察、 X线微分析仪，扫描型探头电镜表面形状观察。这些分析方法可以得到高空间分辨率的画像、但是得不◣到样品表面的化学信息。另外，虽然、显微FT/IR分光、显微光激发光分光、显微拉曼光等可以得到表面化学信息，但是因为空间分辨率有限度、所得到的信息也停留在微米量级。原因是⊙光的衍射是有限度的不能超过使用波长范围。

◆新开发光纤制作技√术

光纤前端以及开口部分以外①为金属套、防止漏光

NFS系列光纤前端约为数十～百nm开口的探头用于近接场光产生或者近接场光集⌒　光。日本分光的开口技术以神奈川科学技术科学】院（KAST）的研究成果■基础上开发的、特定尺寸▽的开口，再现性好。开口的尺寸用电○子显微镜高度的控制。

◆NFS series产品种类丰富

主要〗有以下种类。重点介绍近接场显微红外分光系统。
别的型号〗详细请咨询。

?室温型／低温型　近□　接场光照射装置（NFS-220/320）
?室温型／低温型近接场用扫描装置（NFS-210/310）
?室温型／低温型　近接场蛍光／光激发光分光装置（NFS-230/330）
?近接场显微镜近红外分光装置（NFS-220FT/320FT）
?近接场显微红外分◎光装置（NFIR-200/250）
?近接场纳米碳素管评价装置（NFS-230C/330C、特殊定制）
?近■接场时间分解分光装置（NFS-230TR/330TR、特殊定制）

◆NFIR-200/250　近接场显微红外分光系统

近接场显微红外分ㄨ光装置
红外分光法代表的振动分光法、不论有机?无机应用于各种分析领域。但是，现有的红外显◥微分光系统空间分辨率受光的衍射现象的影响，限度为10μm左右。近接场♂分光法、可以超过这个衍射限度、可见光区域应用于从亚微细米到纳█米规模的光分析，红外区域由→于光纤探头吸收的原因不能进行分光分析。红外领域通过采用漫反射型近接场光学系统、实现了从近红外到中红外领域的≡亚微细米空间分辨率的分光测量。通过照射到探头前端的红外光产生】红外近接场光、检测近接场光和样品共鸣漫反射结果信号、测量红外近接场光々谱。空间分辨率不受红外波长影响、由探头前端产生近接场光的实际尺寸决定、大约探头前◥端径大小。因此，红外分广发可用于亚微细米以下领域测量。

▼特征╳和系统略图
?漫反射型近接场光学装置可除去光纤探头□吸收的影响。
?环保配置。
?NFIR-250的FT部装有大型测量用的样品室，可对应一般的红外测量。

装置♀的概略图如右图。

▼NFIR-200/250规格

机种	NFIR-200/250
测量方式	杂散光测量方式、光学∮调整方式、探头位置调整方★式
检测器	设置数量：最大２种标准检测器：液体氮气冷◣却MCT检测器选项检测器：液体氮气冷却InSb检测器切换方式：电动
样品台范∮围	竖×横20×20μm、高16μm
傅里叶变换↓型分光系统	测量波长范▲围：4000～1000 cm-1 (MCT使用时） 5000～2000 cm-1 (InSb使用时) 分辨率：400px-1 干渉計：45°入射迈克尔逊干渉计分速器：Ge/KBr
微型样㊣品室	装备（NFIR-250）
控制用PC	OS：Windows XP、通信：16bit AD/DA板、读取画像：ビデオキャプチャボード
软件	反馈信号显示器及映射测量软件 3次元表』示软件、探头观察用CCD画像表示软件映射←解析软件、光谱解析软件
尺寸?重量	W1000 x D900 x H1300 mm、280kg（NFIR-200、含防振台） W1600 x D750 x H1300 mm、300kg（NFIR-250、含防振台）
电源	AC100V±10% 250VA（本体）、150VA（FT）、100VA（PC）
其他必要的工具	防振台用空气源：氮气或空气源　0.3～0.8MPa

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扫描型近接场光学显♀微分光系统※

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