该设备由小型真空管式炉和涡轮分子泵组组成，分子泵组的主要部件有：前级机械泵，隔断放气阀，前级管路、分子泵电源，控制电源等组装于机架而成的清洁超高真空获得设备。安装方便，操作简单，易于联接，性能可靠，可广泛用于表面分析，加速器技术，半导体设备，等离子体技术，电真空器件的制造及真空技术各领域；小型真空管式炉由高纯石英管做加热反应腔，最高温Ψ 度可达1200℃，可外接多种惰性气体，能满足大多数CVD实验要求，该系统是科研单位、高等院校用于材料研究的理想选择。
技术性能：
| 产品名称 | 高真空微型管式炉 |
| 产品型号 | CY-O1200-50ICS-HTV |
| 工作温度 | ≦1200℃ |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 控温模式 | 多段可编程控制 |
| 炉管材质 | 高纯石英 |
| 炉管直径 | 50mm |
| 炉管长度 | 700mm |
| 加热温区 | 200mm |
| 恒温区长 | 100mm |
| 密封方式 | 不锈钢◤真空法兰 |
| 连接管道 | KF25高真空波纹管 |
| 真空测量 | 数字式复合真空计 |
| 进气□口法兰 | DN100LF |
| 抽气速率L/S（对空气） | ＞110 |
| 压缩比 N2 H2 | ＞108 5×102 |
| 极限压强（Pa） | 6×10-6 |
| 排气口法兰 | KF25 |
| 使用轴承 | 精密机械轴承① |
| 输入电压频率（V/Hz） | 220±20/50 |
| 环境温度（℃） | 0～40 |
| 前级泵型号 | RVP-4 |
| 启动时间（min） | ＜3 |
| 额定工作转数◣（rpm） | 42，300 |
| 冷却方式 | 水冷∴可风冷 |
| 安装方式 | 任意 |
| 重量（公斤） | 115 |
| 长×宽×高 | 500×510×985 |
| 供电电源 | AC:220V 50Hz |
| 整机功率 | 2.5KW |
