CY-P10L-B型等离子清洗机技术参数：| 序号 | 项目名称 | 技术参数 |
| 1 | 射频频率 | 13.56MHz |
| 2 | 射频电源功率 | 200~400W |
| 3 | 工作电流 | 整机工作电流不大于 2A |
| 4 | 频率偏移量 | 小于0.4KHz |
| 5 | 真空度 | 60Pa～100Pa |
| 6 | 清洗时间 | 1～6000 秒钟可调 |
| 7 | 气体流量 | 10～100ml以上 |
| 8 | 过程控制 | 手动/自动 |
| 9 | 功率 | 10～100%可调 |
| 10 | 清洗容量 | 10L |
| 11 | 抽气管道 | KF真空法兰+真空铝管 |
| 12 | 真空泵 | 双极直联旋片泵 |
| 13 | 阻抗匹配 | 自动匹配 |
| 14 | 显示模式 | 液晶屏 |
| 15 | 供电电源 | AC 220V 60Hz |
