MLI-200/500/1000
主要特点 优点
刚性设计 可靠性高
电晕预电离技术 光斑能量分々布均匀
固态集成电路 可直接使用，无老化现象
先进的激光腔技术 全金属密封腔
激光腔的寿命长达几十亿次脉冲
能量监控 能量稳定
紧凑型结构，占用空间小， 操作方便,易于集成
单相供电
技术参数
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气体介质 |
ArF |
ArF |
ArF |
KrF |
KrF |
KrF |
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波长（nm） |
193 |
193 |
193 |
248 |
248 |
248 |
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最大重↓复频率（Hz） |
200 |
500 |
1000 |
200 |
500 |
1000 |
|
稳定单脉冲能量（mJ） |
6 |
6 |
6 |
10 |
10 |
10 |
|
稳定〗单脉冲功率（W） |
1.2 |
3.0 |
6.0 |
2.0 |
5.0 |
10 |
|
能量稳定性（sigma，%） |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |
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光班尺寸（FWHM,V*H mm） |
6*3 |
6*3 |
6*3 |
6*3 |
6*3 |
6*3 |
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光⌒ 束发散角（FWHM,V*H mrad） |
2*1 |
2*1 |
2*1 |
2*1 |
2*1 |
2*1 |
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脉冲宽度（FWHM）（ns） |
5-10 |
5-10 |
5-10 |
5-15 |
5-15 |
5-15 |
动态气体寿命 1000Hz，能量稳定于4mJ，ArF
常规物理参数
重量 约75kg
制冷方式 风冷
供电要求 230V，50/60Hz，最大需▂求功率2000W
尺寸（L*W*H） 560*315*445mm
