详细说明
产品特点
1、可分析单层或多层薄膜
2、分辨率达0.1nm
3、适合于在线监测
操作理论
最常用的两种测量薄膜的特性的方法』为光学反射和透射测量、椭圆光度法测量。NanoCalc利用反射原理⌒ 进行膜厚测量。
查找n和k值
可以进行多达三层的薄膜测量,薄膜和基体测量可以是金属、电介质、无定形材料或硅晶等。NanoCalc软件包含了▽大多数材料的n和k值数据库,用户也可以自己添加和编辑。
应用
NanoCalc薄膜反射材料系统适合于在线膜厚和去除率∮测量,包括氧√化层、中氮化硅薄膜、感光胶片及其它类型的薄膜。NanoCalc也可◢测量在钢、铝、铜、陶瓷、塑料等物质上的抗反射涂层、抗磨涂层等。