SpecEl由一个集成的光源，一个光谱仪及两个成70°的偏光㊣　器构成，并配有一个32位操作系统的PC.该椭偏仪可测量0.1nm-5um厚的单膜，分辨率0.1nm，测量时间5-15秒，并且折射率测量可达0.005%。
配置说明
波长范围: 380-780 nm (标准) 或450-900 nm (可选)
光学分辨率: 4.0 nm FWHM
测量精度: 厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%
入射角: 70°
膜厚: 单透明膜1-5000 nm
光点尺寸: 2 mm x 4 mm (标准) 或 200 μm x 400 μm (可选)
采样时间: 3-15s (最小)
动态记录: 3 seconds
机械公差(height): +/- 1.5 mm, 角度 +/- 1.0°
膜层数: 至多32层