我们提供热丝化学气相沉积系统(HFCVD system),适合于:
1. 合成各种厚度ζ 和大面积的超纳米晶(ultra-nanocrystalline diamond coating/film/wafer;UNCD)、纳米晶(nanocrystalline diamond coating/film/wafer;NCD)、微米晶(microcrystalline diamond coating/film/wafer;MCD)金刚石;有效沉积面积最大可以达到0.5m2;
2. 可以在不同工具形状表面沉积,例如沉积3D diamond coatings 或者diamond dome;
3. 也可以用于掺杂研究(例如B-doping ),或多层卐膜结构研究及生产;
4. 应用于各种领域,例如cutting tools,metrology,thermal management等。
我们将根据您的需求,提供最适合您应用的配置;购买我们的设备,我们也将提供工艺服务;如果您对我们的设备感兴趣,请联系我们!