实时的全场亚纳米精度透过式光分布
非接触式3D成像
可进行相位测量
自动相干补偿
高分辨、实时测量
技术参数
系统
测量技术： 单波长透射式数字全息显微镜
成像类型： 强度及定量相差 (DHM模式)
光 源： 单波长激光
样品台： 手动或自动XYZ平台, 行程200mm××100mm×15mm
相 机： 1392×1040像素, 8bits
有效物镜： 标准显微物镜, 长工作距离物镜, 油镜或水镜
性能
纵向分辨率： 10nm
垂直测量范围： 可达340nm (取决于样品)
横向分辨率： 300nm (1.4NA)
视场范围： 4.4mm
工作距离： 0.3~18mm
数字聚焦范围： 达到50倍场深
抓图时间： 小于1us
空间采样： 1024×1024像素
采样速率： 15fps (1024×1024像素)
单波长重建速率： 15fps (512×512像素), 4fs(1024×1024像素)
样品照明： 小于1uW/cm2
最大样品尺寸： 200mm×200mm
电源要求
输入电压： 85-260VAC, 50/60Hz
功率： 480W
重量&尺寸
显微镜部分： 500×500×500mm&34.5kg
