技术参数：
测量原理： 反射式数字全相术干涉显微镜 （R1000系列） 或
穿透式数字全相术干涉显微镜（T1000 系列）
取像型式： 强化与量化的相位对比影像
光源： 单波长雷射光源
样品台： 手动3 轴, x, y, z 各可位移25毫米
选配：较大位移的样品台
选配：软件自动控制的2轴或3轴样品台
照相机： 1392 x 1040 像素, 8 bits
可选物镜： 1.25x, 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 63x, 100x
选配：长工作距离物镜, 油浸渍物卐镜
物镜安装： 单物镜安装, 双物镜的滑动块或四物镜的转盘安置
计算机： 应为DHM配★置含最新的Pentium? 处理器和视窗XP 专业版个人电脑为佳, 显示则需19寸, 1280 x 1024 像素的显示屏
软件： Lyncee Tec专利的“袋熊"经典软件, 是利用C++ 和 .NET技术,专为在视窗XP?的3维表面成型, 曲面测量, 步进高度与粗度测量写成的.
选配工作模式： 垂直扫描与频闪观测模式
性能
垂直的分辨率（＊） 瞬间：0.2° （在空气中0.2奈米）
空间：0.6° （在空气中0.6奈米）
垂直数字聚焦范围 视区50倍深度（取决于物︾镜）
垂直测量范围： 对平滑样品, 取决㊣於测量区域的深度
340 奈米 （用选配的垂直扫描模式, 范围可以测得更高）
横向的分辨率 （＊＊）: 取决于物ζ 镜： 用油浸渍的物镜（1.4 NA）, 最低可测到300奈米，
可视区域： 取决于物镜可达到4.40毫米
横向取样： 1024 x 1024 像素 （全像照相）
撷取影像速率 实时影像：15 fps （512 x 512 像素）, 4 fps （1024 x 1024像素）
离线重建：15 fps （1024 x 1024） （10000 fps速率为选配）
样品照明： 低至 1?W/cm2
最大样品尺寸： H x W：200毫米 x 123毫米 （R1000系列）
50毫米 x 150毫米 （T1000 系列）
工作距离： 取决于物镜：从 0.30毫米 至 20毫米
取样反¤射率 （R1000系列）： 低至小於1%
撷取时间： 单一影像撷取, 低至小於 1微秒 （无扫描机械装置, 无相位移）
主要特点：
| System系统 | |
| Measurement technique: 测量技术 | digital holographic microscopy in reflection (R1000 series)transmission (T1000 series)数字全息显微法反射或传▆播 |
| Image types:图像类型 | intensityquantitative phase contrast images强度和数量对比图片 |
| Light source:光源 | single wavelength laser source单波长激光光源 |
| Sample stage: 样品台 | manual 3 axis x, y, z travel with 25mm travel 手动调节3个轴 X,Y,Z，可调节25mm 可选：更大的调节范围 optional: larger travel ranges 可选：软件控制管理2&3轴 optional: software controlled motorized 2 & 3 axes |
| Camera:照相 | 1392 x 1040 pixel, 8 bits |
| Available objectives:有效物镜 | 1.25x, 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 63x, 100x 可选：长工作距离物镜，油浸物镜 optional: long working distance objectives, oil immersion objectives |
| Objective mounting:物镜装配 | single dovetail mounting, 2 objective slider4 objectives turret 单镜装配，2个物镜滑片或者4个物镜︻小塔。 |
| Computer:电脑 | PC with latest Pentium? 最新奔腾?电脑 Windows XP Professional?系统 优化配置DHM，1280 x 1024像素 processor with Windows XP Professional? optimizedconfigured for DHM with monitor 19, 1280 x 1024 pixels |
| Software:软件 | Lyncee Tec所有Koala软件，基于C++ 和 .NET技术。用于Window XP?. 3D表面形貌学的阶跃高╲度和粗糙度测量。 Lyncee Tec proprietary Koala classic software based on a C++.NET technology for Window XP?. 3D surface topography, profilometry, step heightroughness measurements |
| Optional working modes:可选工作模式 | 垂直扫描和频闪观测模式vertical scanningstroboscopic mode |
| Performance性能 | |
| Vertical resolution (*):垂直 | 暂时temporal: 0.2° (0.2nm in air) 空间spatial: 0.6° (0.6nm in air) |
| Vertical digital focusing range:垂直数字调焦范围 | 50倍深度（取决于物镜）50x depth of field (objective dependent) |
| Vertical measuring range:垂直测量范围 | 最大达到光滑样本深度 up to depth of field for smooth samples 最大达到340nm（更大需要使用垂直扫描模式） up to 340nm (higher with optional vertical scanning mode) |
| Lateral resolution (**):侧面 | 由物→镜决定〖： 油浸物镜为300nm objective dependent: down to 300nm with oil immersion objective (1.4 NA) |
| Field of view:视觉区域 | 由物镜决定，可达到4.40mm objective dependent up to 4.40mm |
| Spatial sampling:空间取样 | 像素1024 x 1024 pixels (hologram全息图) |
| Image acquisition rate:图片获得比率 | 实时镜像： real-time imaging: 15 英尺/秒fps (512 x 512 pixels), 4 fps (1024 x 1024 pixels) 重建延迟： postponed reconstruction 15 fps (1024 x 1024) (可选至10000optional up to 10000 fps) |
| Sample illumination:样品照明 | 最低down to 1μW/cm2 |
| Maximum sample size:样品最大尺寸 | 高*宽H x W: 200mm x 123mm (R1000 series) 50mm x 150mm (T1000 series) |
| Working distance:工作距离 | 物镜决√定从0.3-20mm，由物镜决定 objective dependent from 0.30mm to 20mm |
| Sample reflectivity (R1000 series)样品『反射率 | 最低小于1% down to less than 1% |
| Grabbing time:抓拍时间 | 单一镜像抓拍小于1μs down to less than 1μs in a single image grab (no scanning mechanism, no phase shifting) |
| Power requirement | |
| Input voltage:输入电压 | 85-260VAC - 50/60Hz |
| Power requirements:电源要求 | 小于less than 120W |
| Dimensions & weight | |
| Microscope:显微镜 | 尺寸：L x W x H: 500 x 500 x 737mm & 42.8 kilos (R1000 series) 400 x 400 x 500mm & 34.5 kilos (T1000 series) |
| (*) The vertical resolution is defined by the accuracy for phase measurements (in degrees). Temporal resolution is defined by the temporal standard deviation for 1 pixel. Spatial resolution is defined by the 2D standard deviation measured for one acquisition over the entire field of view. (**) As for classical optical microscopy, the transverse resolution is defined by the numerical aperture of the microscope objective. |
| 瑞士Lyncee Tec SA公司的数字全息显微镜“DHM（Digital Holographic Microscopy）是划时代性的高科技技术产品，科学史上第一次, 数字全息显微镜可以直接观测到纳米尺度的分辨率,即时得到样品三维型貌,并且是无接触式的无损测量。 DHM 1000 Family将波长630nm的半导体』激光分成照射到试料的光和参照光两部分来使∑ 用。共包括两大品种，一种是试料反射光与参照光进行干涉的“R1000 series”，另一种是试●料透过光与参照光进行干涉的“T1000 series”。照射到试料上的光线与参照光产生的干涉图案使用CCD相机，作为数字数据保存下来，由此算出三维数据。计算三维数据时使用的是专用软件“Koala Software”。 应用： 其主要应用是在MEMS研发中用于测量工作，以及在生产线用于缺陷检测。与上述用途中现在经常使用的共焦显微ξ镜相比︾，在同行分辨率下能够更高速地▼进行测量。垂直方向的分辨率为0.6nm，水平方向为︾200nm～300nm（取决于物镜）。使用1.25倍率的物镜时视野为4mm×4mm，可以15视野/秒的速度进行测量。因此，1cm见方的试料几分钟即可完成观察。使用现有共焦显微镜时，同等范围的观察则需要几个小时～10小时。 此次的产品最大可将∏观察速度扩展至1万视野/秒。由于摄影ㄨ速度快，因此不需除震台，可用来检测流水线上的产品。 |
