外延片PL谱扫描成像仪『用于快速在线检测发光二极管外延片的质量,主要用于发光二极管外延片和芯片生产线.生成高分辨率的图谱和测定薄膜厚度等。本仪器为外延片生产工艺优化控制提供快速可靠的数据反馈.为高效高质量生产提供可靠保证。本成像仪现已成功应用于多条LED外延片生产线上。逐点扫描检测计算机分析计算外延片的积分光强,主波长,峰值波长,光谱半宽等参数以绘图形式显示分布和数据截面分布囤,显示单点光谱显示各个参数的统计结果显示选择范围的各项统计参数可进行局部扫描,并对扫描结果进♀行去孤立点和去边处理采用白光反射谱测量薄膜厚度并以绘图形式显示分布和数据配备离线数据处理软件本成像仪可靠。结构紧凑。全部检测和数〗据处理由计算机自动完成。采用用户友好的窗口界面,操作简便。用户仅需最小的培训就可使用。另外可根据不同外延片,选配不同的激光器。