XY轴的扫描◥范围 | 120 mm x 75 mm(可选) |
XY轴分辨率(编码器) | 22 nm |
XY轴重复性 | < 700 nm |
XY轴最大速度 | 7 mm /sec |
Z轴分辨率(编码器) | 50 nm |
Z轴可重复性 | ± 50 nm±50纳米 |
Z轴最大速度 | 1.6 mm /sec |
最大建议╳负载(*更高负载,按要求提供) | 5kg |