*同M3500的读数头一样，Z向高度只有8.2mm
*最高分辨率高达1.2nm
*重复误差低——玻璃光栅尺只有±20nm——优于其他品牌的20μm编码器
*连接器上的LED指示灯实时显示信号强度、零限位状态
*读数头能耗低，只有250mW
*数字信号输出：A-quad-B，零位、限位、报警信号或者高速串行接口
*读数头适用于大气环境或真空环境
对MII6000来说，MII5000所有的性能和特点：金属光栅尺或玻璃光栅尺、线性或旋转运动、双限位、差分输出、周期误差、精度等等，它都能适用。
同MII5000系列一样，MII6000和MII6000V系列各有3种（MII6800Si只有一种型号）：
MII6800：最高分辨率』达1.2nm
MII6700：最高分辨率达5nm
MII6500：最高分辨率达50nm
应用行业：
MII6000系列适用于需要高分辨率、高精度（精度范围要求小）、低重复误差、安装空间小的环境：
OEM 压电式电机/平台
纳米位置控制器/compact stage
OEM 音圈电机及应用
OEM真空电机以及SEM/TEM显微镜
激光加工设备中的光学系统
半导体前端设备
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