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平台采用直线电机驱动，无丝↑杠传动，全伺服驱动。微光栅」编码器作为信号反馈机制，有多种结构形式，重复定位精度1微米到10微米，行程可定制。
技术指标：
l 设计行程：250X230mm
l 外形尺寸：450X420X180mm
l 定位分辨率：5um~0.5um
l 重复定位精度：10um
l 龙门式结构，直线电机驱动，XY双轴联动
l Z轴及试验装置安装接口
