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SPFO-R型精密光学平台 特 点： ·基础支撑采用复合材料固体阻尼隔振 ·结构稳固可靠 ·适用于环境振动良好的实验场所 主要参数： ·平面度不大于0.05mm/㎡ ·表面粗糙度小于0.8um～1.6um ·固有频率3Hz～6Hz ·振幅不大于5um ·重复定↑位精度+0.05mm
