产品描述
NVM-6000P是专用型设备，用于基板表面形貌的测量。
基板上的Via Hole，Pad形状，pattem形貌和表面形貌等11个项目可以进行自动测量。
在高速测量下仍具有优秀的重复性和准确性，支持用户设定测量条件和测量数据自动保存及分析功能。
产品规格
扫描范围：0-180um（270um可选）
垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm
台阶高度重复性:﹤0.5%(1σ)
横向分辨率：0.2-4um（取决于物镜和FOV）
工作台面：510X405mm（程控）
尺寸：1200(w)X1250(D)X1900(H)
应用领域
Nano View系列为LCD（液晶显示器）、IC Package（芯片封装）、Substrate（基板）、Build-up PCB（积层板）、MEMS（微机电系统），Engineering Surfaces（工程表面）等等领域提供纳米级别精度的量测。
