697 Ilion II Datasheet 宽束氩离子抛光系统
品牌:Gatan | 型号:697 Ilion II Datasheet 宽束氩离子抛光系统 |
制造商:Gatan公司 | 经销商:欧波同有限公司 |
特点 |
功能与优点 |
WhisperLok |
无需破坏主样品室真空即可方便地装卸样品 |
低能聚焦潘宁离子枪 |
对于EBSD或CL等对样品表面损伤敏感的分析技术,改善低能抛光的效果 |
能量从100V到8.0kV可调 |
改进低能抛光效果,以减少非晶层;可提供更高的能量,以提高抛光速度 |
液氮样品冷却 |
保护样品,避免离子束热▓损伤,消除可能的假象 |
10英寸触摸屏控制 |
通过图形用户界面(GUI),能得到简便和全面控制 |
数码变焦显微镜 |
可在抛〗光时实时操作 |
存储于DigitalMicrograph的彩色图像 |
能够将光学图像以相同的格式与SEM数据一起存储和使用 |
订货信息 |
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型号 |
描述 |
697 Basic |
Ilion II系统 |
697 Cool |
Ilion II系统及冷台 |
697 Pro |
Ilion II系统及冷台和配△有DigitalMicroscope的数码变焦显微镜 |
697 Advantage |
Ilion II Pro+马达驱动离子枪 |
关于配件和耗材的详细▂情况,请咨询当地的销售代表。 |
基本应用
EBSD样品制备
半导体Semiconductor
金属(氧化物及合金)
陶瓷样品
地质样品
油页岩
聚合物样品
由Ilion II制备的2.5 D Interposer IC封装样品的背々散射电子像。
照片由德□国德雷斯顿的弗劳恩霍夫研究所提。2013FraunhoferIZM,Dept.HDI&WLP/ASSID.版权所有。