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系统简单配置如下:
Load lock
真空系统: 机械泵Oil pump/Dry pump + 涡轮分子泵/低温泵/电磁泵
离子枪: DC / RF
均匀性:100 mm衬底 +/- 4%, 刻蚀速率降低均匀※性优于+/-2%
衬底尺寸:4英寸衬底(4-12英寸可选),水冷。
终端检测系统:SIMS 或激光干涉仪。
控制方式:全自动电脑控制,半自动或手动控制可选。
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