主要特点：
--锥形物镜，长焦性能优越。
--中大型样品室分析型物镜，可同时接配多种探测器,有较强分析拓展能力；
--涡轮分子泵真空系统高效清洁节能，
--全数字化高度集成的电器控制系统，结构紧凑，稳定可靠，与计算机通讯采用高速USB接口。
--最高支持5120 x 3840像素的图像采集能力，体现优良的数字化控制扫描系统对电子束的控制精度
--全自动控制能力，一键成像，自动灯丝饱和，自动聚焦，自动消象散，自动亮度对比度控制，自动电子束对 中，自动偏压，物镜光阑自动摇摆对中合轴。
--NanoStation操作软件，多种快捷按钮，简单方便，同时允许用户自定义热键，允许更高效的操作；
图像灰度直方图实时显示，自动调整亮度对比度。
--强大的图像编辑处理能力
技术指标：
分辨率：3.0nm（30kV，SEI）10nm（3KV，SEI）
4.0nm（30kV，BSEI）
放大倍数：10x~300，000x
加速电压 0.5kV~30kV
电子枪：三级自给偏压，偏压电阻可自动/手动调节，预对︼中发叉式钨丝阴极
透镜系统：2个聚光镜，1个物镜
物镜光阑：4孔可变光阑，摇摆对中合轴
图像电位移和电旋转：±50μm（WD：10㎜）；0-360°无限
样品室：内径φ210mm，可接配EDS，BSE，WDS EBSD等分析附件.
样品台及行程:五轴样品台，Z轴为自动，其余手动
X：65㎜，Y：40㎜，Z：5~65㎜，T：-20°~＋90°，R：360°
最大样品尺寸：160mm（直径）X 71mm（高度）
操作系统：PC机控制，Windows7，21.5英寸彩显，GUI操作软件嵌入多种图像实时分析测量工具，鼠标键盘操作
自动功能：自动聚焦，自动亮度对比度，自动消象散，自动饱和，自动对中，自动偏压电阻。
视频分辨率及帧频：选区模式：320 x 240像素 30帧/秒
TV 模式：640 x 480像素 10帧/秒
慢扫描模式：800 x 600像素（3档速度）
扫描模式：1200 x 600像素（SE BSE 双信号）
照相模式：1280 x 960，2560 x 1920，5120 x 3840像素
示波器模式
图像格式 JPG，TIFF，BMP
语言英语
真空系统：带安全防护的自动高真空系统，涡轮分子泵260升/秒＋旋片式机∑械泵100L/min
真空度实时显示。
高真空：样品室处真空度优于7.5x10-5 Torr，
低真空：样品室 1-270Pa
总功率：2KW
外形尺寸和重量：
主机：77（W）x88（D）x150（H）㎝，350㎏
电脑桌：任意
