SmartSPM是一种通用的扫描探针显微镜，适用于在大气环境，液态以及可控气氛条件下对各种样品在纳米等级上宽范围的复杂表面进行研究。尤其是在高分辨率和高速率条件下对测试小型样品是一种理想的选择。SmartSPM可以很方便的与现代自动化结合在一起具有很多高质量的测试功能。
SmartSPM的重要特点：
很高的扫描速度；
最大扫面范围：100×100×15μm；
XY方向上5×5mm范围内机动的样品定位；
带集成电容闭环传感器的扫描器；
红外激光（1300nm）可以测量光敏感样品；
自动测量包含自动的激光和光电二极管定位以及测量参数的设定；
真正意义上的非↓接触式扫描模式和特别安全〖悬臂针尖-表面着『陆程序
可扩展的数字化模块控制器。
