详细说明
技术参数
（1）工件最大尺寸：直径150mmm
（2）工作温度：≤1100℃
（3）最高温度：1200℃
（4）控温方式：可编程控制
（5）最大升温速率：80℃/秒
（6）控温精度：±2℃
（7）温度重复性：±2℃
（8）温度均匀性：±2℃
（9）真空度：小于10Pa
（10） 额定功率：25KW
主要特点
■ 反应腔体结构紧凑，腔体内气氛均匀、洁净度容易控制
■ 实时闭环温度控制方式
■ 实时灯管电流监测以保证工艺稳定可靠性
■ 安全监测，包括热偶测温检测、过热检测、灯管电流检测
■ 用户操作界面，使用非常简便
■全自动控制，操作简单
■菜单编艺数据记录/查找、报警/报错、用户状态等功能
■真空与反应气氛可根据用户要求选配
