EM15纳米膜厚仪是基于量拓科技先进的椭偏测量原理，针对纳米薄膜的厚度常规测量推出的一款专用仪器。
EM15适用于测量块状材料基底上1-3层纳米薄膜的样品，可对其中的一层或两层薄膜厚同时进行测量。
EM15还可用于同时测量块状材料的折射率n和消光系数k。
| 配件 | 水平XY轴调节平移台 真空＠吸附泵 |
| 软件 | 1. 中英文界〒面可选； 2.多个预设项目供快捷操作使用； 3.单角度测量/多角＠ 度测量操作和数据拟合； 4.方便的数据显示、编辑和输出； 5.丰富的模型和材料数据库支持。 |
| 项目 | 技术指标 |
| 仪器型号 | EM15 |
| 光源 | 激光器 |
| 膜厚测量重◥复性（1） | 0.5nm (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层) |
| 折射率〇测量重复性（1） | 5x10-3 (对于Si基底上100nm的SiO2膜层) |
| 单次测量时间 | 典型3s |
| 探测光束直径 | 1-2nm |
| 仪器重量（净重） | 25kg |
| 入射角度 | 40°-90°可手动调节，步进5° |
| 样品方位调整 | Z轴高』度调节：±6.5mm 二维俯仰调节ξ：±4° 样品对准：光学自准直和显微对准系统 |
| 样品台尺寸 | 平面样品直径可达∏Φ200mm |
| 最大的膜层范围 | 透明薄膜可达4000nm 吸收薄膜则与材料性质相关 |
| 最大外形尺寸 | 887 x 332 x 552mm (入射角为90º时) |
