硅烷在常〓温常压下为无色、非常活跃的压缩气体。即ㄨ使用其它气体稀释，如果浓度不够低．仍能自燃。硅烷在氩气中含2%、氮气中含2.5%、氢气中含1%时，它【仍能着火。硅◥烷浓度在小于1%时不燃，大于3%时自燃，1%～3%时可能燃烧。硅烷是强还原剂，与重金属卤化物激烈反应，与四氯化碳激ぷ烈反应。因╳此对硅烷不能使用氟里昂灭火剂。硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和卐四氯化硅。不与润滑油、脂肪反应。对几乎所有的金属无腐蚀性。有时，玻璃中的碱成分也能分解硅烷。硅烷广泛用于硅的外延生长、多晶硅、氧化硅、氮化硅⌒　等的原料，太阳能电池，光导纤维，有色玻璃制造，化学气相淀积。

使用硅烷的工作场所要通风，保持室内空气干燥。硅烷装置要严格密封，避免和空气、水分相ω　接触，为此，用气装置在使用前要用惰性气体置换里面的空气后】抽真空，这样反复进行置换和抽真空，一定要彻底清除系统中的空气和水分。装置○使用以后，也要用惰性气体置换清洗系统中的硅烷。可以用氦探●漏器探漏。少量硅烷泄漏时，从氧化硅粉末的折出●中也可以得知。钢瓶要存〗放在阴凉干燥通风良好之处，要远离热源和氯、溴等氧々化剂。工作场所要配备足够的防护用¤品及应急用品。硅烷本身无腐蚀性，可以使用碳钢、不锈钢、铜、黄铜、蒙乃尔、耐蚀镍基合金。也可☆用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合体、尼龙、三氟氯乙烯树脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用铅、橡胶、脂肪、润滑油、玻璃。凡是可燃性的有机高分子材料◥应该避免使用。当硅烷大量泄漏时。紧接着就要着火，所以无法用灭火器灭火。但是可以控制火势，使火灾不向周围蔓↘延。燃烧时辐射热不太高，所以应尽可能去关闭阀门以止住气体的流出。可用白雪石粉或石墨粉熄火。废气可用水或碱吸收，或者→在特殊燃烧器中燃烧成SiO2之后用专门的过滤⌒器捕捉。储存于阴凉、通风的★库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区ξ应备有泄漏应急处理设备。密闭操作，局部排风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作々规程。建议操作人员佩戴过滤式♂防毒面具（半面罩）。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避ζ　免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处『理设备。

高纯硅烷跟高□纯氨气一起用于生产太阳能薄膜电池将硅分子附着于电池表面

跟高纯乙↘烯一起用于LOW-E镀膜玻璃的︽生产

高纯硅烷应用于大规模集成电路的外延生长工艺中用作硅源

应用「于国防、军事工业的研发、生产

硅烷在平板显示生产中也有重要◣的用途

用于低温二氧化硅CVD、用于氮化硅←CVD

 

用一个减压器或独立的控制阀安全地从气瓶内释放硅烷。用单向阀来防止倒流。不要用明火或其它附近的热源加╲热钢瓶的』任何部分。
使用防火花工具。不要试图对装有硅烷〒的钢瓶进行修理、调节或其他→改动。
用氢离子检测器监测硅烷的修理和在空气中的扩散，用红外/紫外监测器监测火灾 。所以的监测器』都应有内锁，一旦发现问题立即自动切断硅烷气源。
如果出现故障或其他操作问题，请立即※与最近的分销商联系。
硅烷系统中不允许使用填≡压阀，只允许使︾用非填压的膜阀和波纹管阀。在其分配系统中应安装过流阀或过流开关。这样可以在下游管线发生爆炸时切断气源。这个开关阀应安装得离气源越∏近越好。
如有可能应避免单独▲一个人操作钢瓶。所有的操作都应这样进行,一旦发生泄Ψ 漏，处理紧急情况的人员可以立即赶到。
监测系▂统应装备备用或应急电源。必须有遥控紧急开关，必要时可关闭硅烷气源。
一定不↓要拉、滚动々或滑动容器。用合适的手推车来移动容器，不要试图抓住气〓瓶的盖子来拎起它。保证气瓶在使用的全过程中为固定状态。
不可将工◥具(如：扳手，螺丝刀，等) 插入阀盖内。 否则会损坏阀门并引起泄漏。
一旦钢【瓶与吹扫和钝化过的系统连接好，应缓慢仔细地打开钢◆瓶阀。如果使用者在操作气瓶阀时有困难，需停止使◇用，并与供应商联系。
使用可调节的带扳手来打开过紧或生锈的阀盖。所有管路和相关设备接地。

硅烷的物理化学〖性质

分子量：    32.118
熔点(101.325kPa)：    -185.0℃
沸点(101.325kPa)：    -111.5℃
液体密度(-185℃)：    711kg/m3
气体密度(0℃，100kPa)：    1.42kg/m3
相对密度(气体，空气=1，20℃，101.325kPa)：1.114
比容(21.1℃，101.325kPa)：    0.7518m/kg
气液容积比(15℃，100kPa)：412L/L
临界温度：    -3.4℃

临界压力：4843kPa
临界密度：    242kg/m3
熔化热(-186.40℃，<0.1kPa)：  24.62 kJ/kg
气化热(-111.40℃，101.325kPa)：342.89kJ/kg
比热容(气体，25℃，101.325kPa)：  Cp=1333.96 J/(kg·K)
蒸气压(-168℃)：    1.33kPa
      (-60℃)：    1040kPa
      (-10℃)：    4150kPa
粘度(101.325kPa，0℃)：0.0108mPa·S
表面张力(-111.4℃，101325kPa)：15.11mN/m
导热系数(101.325kPa，0℃)：0.01918 w/(m·K)