产品名称: 
其他名称: 四氟甲烷、R14、tetrafluoromethane、carbon tetrafluoride
分子式: CF4
UN No. UN1956
CAS No. 75-73-0
产品说明: 四氟化碳是不燃烧的无色、无味的压缩气体，充装于四氟化碳钢瓶中，饱和蒸汽压约压力2000 psig。四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗，太阳ㄨ能电池的生产，激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于四氟化碳的化学稳定性，四氟化碳可用于金属冶炼，例如：铜、不锈钢，碳钢、铝、蒙乃尔等；还可用于塑料行业；如：合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯。 
注意事项: 四氟化碳是不燃性压缩气体。储存于阴凉、通风仓间内。仓内温度不宜超过60℃。远离火种、热源。防止阳光直射。验收时要注意品名，注︼意验瓶日期，先进仓的先发用。搬运四氟化碳时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。泄漏时，应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。
四氟化碳的物理化学性质
分子量：88.005
熔点(101.325kPa)：    -186.8℃
沸点(101.325kPa)：    -128.0℃
液体密度(-127.94℃，101.325kPa)：1603kg/m3
气体密度(0℃，101.325kPa)：    3.946 kg/m3
相对密度(气体，0℃，101.325kPa)：  3.05
气液容积比(15℃，100kPa)：436 L/L
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2747m3/kg
临界温度：    -45.6℃
临界压力：    3739kPa
临界密度：    629kg/m3
压缩系数：

 
熔化热(-186.8℃)：    7.609 kJ/kg
气化热(-127.94℃，101.325kPa)：  135.65 kJ/kg
比热容(气体，25℃，101.325kPa)：Cp=696 J/(kg·K)
                                Cv=602J/(kg·K)
比热比(气体，25℃，101.325kPa)：Cp/Cv=1.157
蒸气压(-180.65 C)：0.20 kPa
             (-120℃)：    165 kPa
              (-50℃)：    3220 kPa
粘度(101.325kPa，0℃，气体)：0.0161 mPa·S
                (-60.0℃，液体)：0.170 mPa·S
表面张力(-80.0℃)：    6.4 mN/m
导热系数(101.325kPa，0℃)：0.01503 w/(m·K)
            (液体，-60.0℃)：0.07196 w/(m·K)
折射率(-73℃)：    1.151