本机适用:PVD各种镀膜要求，如：离子多弧镀、蒸发镀、蒸发+磁控、磁控镀等多种组合运用。镀制一切常用的氮化膜、碳化膜、氧化膜。（切削工具、钻头、模具等表面镀制各种硬质膜、进行单层与多层（纳米）膜、金属化合物及塑料、玻璃、陶瓷等表面装饰物膜的镀制。
主要技术参数；
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序号
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名称
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型号与规格
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1
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真空机组
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2X-8旋片泵（南光）
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2X-70旋片泵（南光）
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ZJP-150罗茨泵（南光）
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KT-400扩散泵+SDB400B2冷阱（沈阳真龙）
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2
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真空室体
（内6+空6+外3） |
室体Ø1000XH1000，304不锈钢钢制造
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单门，门上配2个观察窗
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转架，下装型
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室体内配装2套不锈钢衬板
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3
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阀门管道
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阀门用优质碳钢制造
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管道均采用不锈钢制造
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4
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转架系统
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镀膜旋转方式：公自转形式
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挂杆2套（挂具客户自制）
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转动电机功率：0.75KW1台（变频调速）
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5
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测量控制仪
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HY-9940B型复合真空计（北大）
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阴极圆柱靶
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阴极旋靶管圆柱靶
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6
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阴极平面靶
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非平衡阴极平面靶
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7
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多弧阴极◣靶
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多弧阴极靶（配钛、不锈钢靶¤材各6件）
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8
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电控系统
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电控柜1台、电源柜1台
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主要电器采用国内外著名品牌
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日本三夌PLC+昆仑通态，10.4寸触摸屏手自动操作
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9
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电源
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BD40直流偏压电源(40KW)
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电弧靶电源(150A)（可买一半6台）
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MSB10中频电源（10KW）
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MSD10直流磁控溅射电源(10KW)（可暂时不购买
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灯丝
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灯丝电源10KW（自制）
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灯丝偏压
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灯丝偏压电源10KW（自制）
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蒸发
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20KW蒸发电源
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10
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水路
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汇水管用不锈钢制作、压力表、阀门、电磁阀等
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气路
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选用品牌气动三联件与电磁阀门控制
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气体控制流量计
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200、1000、2000 (SCCM)
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加热器
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输出功率:9KW 烘烤温度10℃-220℃
（自动控制）
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报警系统
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多弧靶与扩散泵缺水短电保护
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水压、温度与流量、气压、机械ぷ泵缺相保护
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