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产品热度：加载中

品　　牌：SYSCOS

产品型号：LE-M5

所在地区：上海

特色

• 自动Excel（或PDF报表）全天候数据监控
• 多角度量测
• 可预先定义简洁的操作模式供工程师使用
• 微光斑
• 测试结果的图形反馈

技术规格

• 波长：632.8nm
• 光学模式：PSCA模式
• ψ、△精度：0.001°、0.01°  (90° 时50次测量标准差)
• 长时稳定性：TanPsi= ±0.005；CosDel=  ±0.005(90°超过1小时的测量)
• 膜厚精度：1 Åfor 100 nm SiO₂ on Si
• 折射率精度：5x10^-4for 100 nm SiO₂ on Si
• 光斑：20 µm
• 步进角：55° - 90°；步进值5°
• 数据库：各种电介质、薄膜、晶体及非晶半◆导体、金属等的NK文件（数万种）