| 功能 | 背抛光+刻蚀+去PSG | |
| 产品 | 单晶/多晶硅片 | 156mm*156mm±0.5mm(thickness0.2mm) |
| 125mm*125mm±0.5mm(thickness0.2mm) | ||
| 产能 | 传输轨道 | 5 |
| 125mm*125mm | 最大产能 3600cells/h | |
| 156mm*156mm | 最大产能 3000cells/h | |
| 碎片率 | ≦0.05% | |
| 工作方向 | 从左至右 或 从右至左 | 由↓客户定方向 |
| 传输速度 | 速度范围 | 1.0~2.5m/min |
| 操作速度 | 1.8m/min | |
| 设备规格 | 传动高度 | 960±30mm |
| 主要材质 | PVDF, NaturePP, PEEK, PPS | |
| 滚轮间距 | 50mm | |
| 滚轮材质 | PP/C-PVC | |
| 工程条件 | 电力供应 | 65KW, 3相交流电380伏50赫兹 |
| 纯水 | 2.5±0.5kgf/cm2 | |
| 压缩空气/氮气 | 6±0.5kgf/cm2 |
