晶体生长炉---蓝宝石。真空腔体采用单室立式圆桶型、壳体双层水冷夹层结构,上顶盖开启形〗式,用于包层坩埚水冷却,用于泡生法生长光学晶体。该设备使用重量法测量晶体的生长重量。
1、晶体生长炉
1.1系统功能及△结构
系统主要由真空炉体、真空抽气机组、称重传感器、晶体提升和旋转系统、加热系统、控制系统、气路系统、水路系统、生长过程@自动控制系统、安装机台等组成。
1.2主要技术性█能指示
1)加热功率:100KW
2)最高加热温度:2200℃
3)常用加热温度:2050∽2100℃
4)极限真空度:5*10-4Pa(经烘烤后连续抽气)
5)工作真空度:5*10-3Pa
6)充气介质:Ar(高纯)
7)充气压力:≤0.1MPa
8)坩埚尺寸:220mm*350mm(直径*高度)
9)籽晶杆转速:0∽30r/min
10)籽晶杆〇升降慢速:0∽20mm/h
11)籽晶杆升降Ψ 快速:0∽30mm/min
12)籽晶杆行程:300mm
13)小炉盖行程:200mm