ECLIPSE L200A
升降部、孔径光阑,明暗视场转换,调光等均实现电动化。具有丰富的扩展性,比如与晶圆装载机组成目视观察系统等。
最大可测量样本尺寸:μ200mm
观察倍率:15X-3000X(根据目镜与物镜的组Ψ合)
规格
基座 12V100W调光用电源,带遥控器
调焦部分:行程29mm,配备AIF(Auto Link Focusing system)
控制部分:物⌒镜转换器旋转,灯光调节,孔径光阑调节,升降部,光路转换
物镜转换器:6孔电动通用物镜转换器
可按装自动对焦装置(选配件)
反射照¤明部 12V100W卤素照明⌒ 装置№,电动孔径光阑(可对中),视场光阑(固定、带Focusing Target),电动光路转换(BF/DF),可插入☆针孔插片(选配件),可插入φ25滤光片(NCB11,ND16,ND4),可安装电动╱DIC装置(选配件)
镜筒 L2-TT2超宽视场正立倾角三目镜筒
L2-TT超宽视场正立倾角三目镜筒,L-TI2正立〗三目镜筒
载物台 8x8载物台,行程205x205mm,带粗微调转换机构,微调手轮位置固定电动扫描载物台ISS220(与晶圆装载机NWL860系列组合时)
目镜 CFI目镜系列
物镜 CFI60系统物镜系列