放大倍率 10倍-20000倍,最高解析达5nm
观察模式 高真空及低真空模式
电子束 小型㊣ 电子束(pre-defined tungsten filament)
加压电压 3段式15KV,10KV,5KV观察
样本承载台 手动控制式(35mm x35mm-X,Y)
最大样本尺寸 直径75mm厚度50mm
接收讯号 二次电子及背向电子侦测
显示数据 电压,倍率,mini-bar, mini-value等等
图档存取 Tiff,jpeg
操作系统 Windows vista
自动功能 对焦,对比及亮度
硬件配置 主体,计算机,
主体尺寸 (W)492mmx(D)458mmx(H)434mm
重量 63 kg(main unit);11 kg(computer);5 kg (rotary pump)
电源 Single phase AC 100 V(400 VA),120V(900 VA), or
200 V(900 VA)+/-10%,50/60 Hz,
D class grounding
置放温度 15-30度C
置放湿度 小于70%
