匀胶机系█列-手套箱式匀胶机 | |||
| ☆ 运行平稳、可靠 | ||
☆ 速度调节范围大 | |||
☆ 操作简单、方便 | |||
☆ 晶片托盘种类齐全 | |||
☆ 可根据要求定制 | |||
用 途 | |||
本产品主要用于在硅、锗硅、 砷化镓、玻璃等材料的圆形或方形晶片上完成匀胶 | |||
工艺。它是微电子、光电子及太阳能电池研制领域中不可缺●少的关键设备之一。 | |||
主要特点 | |||
1、根据匀胶工艺的要求分别设定好“摊胶”及“匀胶”的时间和速度:放置晶片后只要 | |||
按一下“启动”按钮整个匀胶的过程就会自动完成。 LED数码显示时间和速度。 | |||
2、旋转速度闭环控制、速度稳定、负载特性好。 | |||
3、速度提升快,电机惯量小。 | |||
4、全系列〓晶片托盘供各种规格和尺寸晶片的客户选∏用。 | |||
主要技术参数 | |||
型 号 | XYJ-450A型 | XYJ-450B型 | |
●摊胶速度设定范围 | 600 rpm ~ 6000 rpm | 80 rpm ~ 4000 rpm | |
推荐值为: 1000 rpm ~ 2000 rpm | 推荐值为: 100 rpm ~ 2000 rpm | ||
●摊胶时间设定范围 | 1秒 ~ 99秒 | 1秒 ~ 99秒 | |
或10秒 ~ 990秒 | 或10秒 ~ 990秒 | ||
●匀胶〓速度设定范围 | 600 rpm ~ 6000 rpm | 80 rpm ~ 4000 rpm | |
推荐值为: 1000 rpm ~ 5000 rpm | 推荐值为: 1000 rpm ~ 3500 rpm | ||
●匀胶时间设定范围 | 1秒 ~ 99秒 | 1秒 ~ 99秒 | |
或10秒 ~ 990秒 | 或10秒 ~ 990秒 | ||
●适用晶片尺寸 | Φ 100mm 圆片; | Φ 150mm 圆片; | |
75× 75mm 方片 | 125× 125mm 方片 | ||
●真空泵配置 | 油泵或无油泵 约1.5L/s (5.4 立方米/h) | ||
●供电电源 | 220VAC、10A;50Hz | ||
●外形尺寸(mm) | 宽×深×高=800×550×1150 | ||
●重 量 | 35Kg | ||
备 注 | |||
①、全系列晶片托盘( 20 多种)适用于 10X 10mm 至Φ 200mm 圆片 | |||
②、XYJ—450型手套箱式匀胶机使用于对清洁度要求高的单位,设备有排风接口 . | |||
③、 GYJ — 550 型柜式匀胶机是专为各种大面积晶片匀胶〒设计的 . |