匀胶机系」列-台式⌒ 匀胶机 | |||||
| | ☆ 运行平稳、可靠 | |||
☆ 速度调节范围大 | |||||
☆ 操作简单、方便 | |||||
☆ 晶片托盘种类齐全 | |||||
用 途 | |||||
硅、锗硅、砷化镓、玻璃等材料晶片(圆片或方█片)上光刻胶的涂覆及匀胶工艺。 | |||||
主要特点 | |||||
◆ 高性能微特电机及驱动器控制、从摊胶到匀胶△结束自动完成、由摊胶到匀胶 | |||||
◆速度提升快、停机惯性小、运行平稳、噪声小。 | |||||
◆时间为数字设定、绿色数字显示;速度为模拟量设定、红色数字显示。 | |||||
型 号 | YJ-150型 | YJ-150A型 | YJ-250型 | YJ-250A型 | YJ-350型 |
各自特点 | 高速型 | 高、低速兼容型 | 高速型 | 低速型 | 低速型 |
控制特性好 | 摊胶☆缓启动 | 控制特性好 | 控制特性好 | 控制特性好 | |
主要技术参数 | |||||
型 号 | YJ-150型 | YJ-150A型 | YJ-250型 | YJ-250A型 | YJ-350型 |
摊胶速度设定范围 | 800~6000rpm | 150~6000rpm | 800~6000rpm | 80 ~ 4000 rpm | |
摊胶时间设定≡范围 | 1秒 ~ 99秒 或10秒 ~ 990秒 | ||||
匀胶速度》设定范围 | 800~6000rpm | 150~6000rpm | 800~6000rpm | 80 ~ 4000 rpm | |
匀胶时间设定范围 | 1秒 ~ 99秒或10秒 ~ 990秒 | ||||
适用晶片尺寸 | Φ75mm圆片 | Φ 125mm 圆片 | Φ 150mm 圆片 | ||
50×50mm的方形片 | 100× 100mm 方片 | 125×125mm方片 | |||
真空吸片 | 1L/s(3.6立方米/小时)~1.5L/s (5.4 立方米/小时) | ||||
供电电源 | 220VAC、6A;50Hz | ||||
外形尺寸(mm) | 290×230×310 | 320×245×350 | 360×260×368 | ||
(宽×高×深) | (甩胶▃锅在内) | ( 甩胶锅在内 ) | (甩胶锅在内) | ||
重 量 | 6Kg | 8Kg | 12Kg | ||
备 注 | |||||
①、 旋转托盘根据晶片形状和尺寸大小选配。 | |||||
②、 本公司的YJ—450和YJ—450A型箱式匀胶机是手套箱结构、用于对清洁度要求高↑的单位,设备有排风接口 . | |||||
③、 本公司的 YJ — 550 型 柜式匀胶机是专为各种大面积晶片 匀胶设计♂的 . |