主要技术规格:
1、测量表面光洁度范围:▽3-▽9(相当不平※度0.8-80um)
2、表面光洁度(级别):9、8-7、6-5、4-3
3、所需物镜:60倍N.A.0.55、30倍N.A.0.40、 14倍N.A.0.20、7倍N.A.0.12
4、总放大卐倍数:510X、260X、120X、60X
5、物镜组件工作距离(mm):0.04、0.2、2.5、9.5
6、视场(mm):0.3、0.6、1.3、2.5
7、不平宽度:用测微◤目镜:0.7微米~2.5毫米
用座⊙标工作台:(0.01~13)毫米
8、仪器重量约: 23公斤