测量表面光洁度范围： ▽3-▽9(相当不平度0.8-80um)
表面光洁度（级别）：9、8-7、6-5、4-3
所需物镜：60倍N.A.0.55、30倍N.A.0.40、14 倍N.A.0.20、7倍N.A.0.12
总放大倍数：510X、260X、120X、60X
物镜组件工作距离(mm):0.04、0.2、2.5、9.5
视场（mm）:0.3、0.6、1.3、2.5
不平宽度：用测微目镜： 0.7微米~2.5毫米
用座标工作台： （0.01~13）毫米
仪器重↘量约： 23公斤
