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真空镀膜机

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产品型号：002299 (VPS-020)

制造厂商：鑫有研电子科技(上海)有限公司

所在地区：上海

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真空镀膜机

仕　様

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	VPS-020	VPS-050
標準配件	Dia.50mm　Au1個（镀膜用） Dia.50mm　Al1個（刻蚀用）	Dia.100mm　Au1個（镀膜用） Dia.100mm　Al1個（刻蚀用）
試料台	Dia.70mm	Dia.100mm
試料台	（高度調節範囲　15mm、20mm、60mm）
チャンバー	Dia.120mm、120mm(D)不锈钢制	Dia.240mm、240mm(D) 不锈钢制
油旋片泵	G-20DA型（20 L/min）	G-100D型（100 L/min）オプション
高圧電源	１kV／0～20mA（带電流計、内置安全电路）
镀膜方式	AC／DC　Sputtering
刻蚀方式	AC／DC　Sputtering
时间	0～15min、連続可変
气体調整機構	针阀
所要電力	単相 100V 0.4kVA	単相 100V 0.5kVA
外型尺寸	160mm(W)×365mm(D)×317mm(H) 8.5kg	282mm(W)×485mm(D)×440mm(H) 20kg

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