<

• 

>

产品报价： 面议

留言咨询

产品热度：加载中

产品型号：ST4000-DLX

制造厂商：广州德润仪器科技有限公司

所在地区：广东

 

简述

测量晶圆，玻璃等基板上形成的氧化膜，氮化膜，感光性树脂等非金属薄膜厚度的仪器。

详细介绍

测量原理如下：在测量的半导体晶圆或玻璃上面的薄膜上垂直照射可视光，这时光的一部分在膜的表面反射，另一部分透进薄膜，然后在膜与底层 (晶圆或玻璃)之间的界面反射。这时薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。薄膜测厚仪就是利用这种干涉现象来测量薄膜厚度的仪器。 技术参数: 测量范围 0.01um~ 35um(根据膜的类型) 光斑尺寸 0.002um 测量速度 1~2 sec./site 应用领域 聚合体: PVA, PET, PP, PR 半导体: Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS 电解质：SiO2, ITO,ZrO2,Si3N4 Tio2