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HAP-100高精度隔★振平台
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产品型号:
1 (HAP-100)
制造厂商:
上海理工大学附属工厂
所在地区:
上海
详细说明
产品主要性能指标:
载荷能力
500~800 kg
充气压力
最大0.6Mpa(6kg/c
m
2
)
固有频率
垂直方向 < 1~1.8HZ水平方向 < 1.1~1.8HZ
最大动扰度系数
1.1*10
-3
~ 3.5*10
-3
台面平面度
0.10 mm/
m
2
最大相对位移
0.22 nm~0.10 nm
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