LH-□□□G-4型机
超纯水电阻率≥18M Ω.cm25℃
颗粒物(>0.22μm )<1个/ml
TOC<15ppb
重金属<0.01ppm
微生物<1CFU/m
低硅泄漏
LH-□□□G-5型机
超纯水电阻率≥18M Ω.cm25℃
颗粒物(>0.22μm )<1个/ml
TOC<1~5ppb
微生物≤1CFU/ml
热源<0.001EV/ml
重金属<0.01ppm
低硅泄漏
纯水水质:电阻率>0.2M Ω.cm (进水电导率<300μs/cm)(符合 国标三级水标准)
取水流速:1~1.5升 /分
进水水源:市政自ㄨ来水
进水压力: >0.1MPa
进水水温:2~40℃
工作电源:220V/50Hz