型号 | 制水量 | 超纯水水质 |
LH75G-4 LH150G-4 LH300G-4 LH400G-4 | 10L/H 20L/H 40L/H 60L/H | 超纯水电阻率≥18MΩ.cm25℃ 颗粒物(>0.22μm )<1个/ml TOC<30ppb 重金属<0.01ppm 微生物<1CFU/ml 低硅泄漏 |
LH75G-5 LH150G-5 LH300G-5 LH400G-5 | 10L/H 20L/H 40L/H 60L/H | 超纯水电阻率≥18MΩ.cm25℃ 颗粒物(>0.22μm )<1个/ml TOC<15ppb 微生物≤1CFU/ml热源<0.001EV/ml 重金属<0.01ppm 低硅泄漏 |