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                浙江大学CSY-10L型激光多功能光电测试系】统实验仪

                 浙江大学CSY-10L型激光多功能光电测』试系统实验仪
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                •  浙江大学CSY-10L型激光多功能光电测试系统实验▽仪
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                CSY
                2006 (CSY10L型)
                浙江大学科仪电子技术有限公司
                浙江
                详细说明

                 

                  浙江大学CSY-10L型激光多功能光电测试系█统实验仪

                 

                 组成及功№能:

                激光多功能光电√测试系统实验仪(Laser Universal Opto-Eletro Testing Systems Experiment Meter)是最新发展的精密光电测试实验系统,用于大学仪器科学,计量测试专业、自动控制专业以及物理专业等课程教学。其◤特点是系统配备了专有的相移式数字干涉图像处理软件(CsylaserWave,分析精度达到l/50实验内容新颖,技术先进(采用的相移式数★字干涉系统与普通的光栅摩尔条∩纹记数在测量范围与精a度上是完全不同⊙的概念)功能多样。通过实验指导书提供的数十种实验,能完成包括□激光、散斑、衍射、光电、共焦、光纤、纳米、图像、偏振等多种先进测试技术的实验。

                仪器主机配置:

                实验系统主要由光学平台◤、激光系统(He-Ne,波长635.8mm,功率>3mw)、多功能光学系统,CMOS图★像采集系统,光纤传感系〓统组成。

                仪器主机配套:

                实验系统必须与计算机及相应的外围设备配套使用,实验数据的操作以及实验的图形获取均在计算机上进行。计算机由用户自行配置(计算机♀建议配置:CPUP4/28G;硬盘:80G;内存:512MDVD光驱;17寸纯平显示器),操作软件随实验仪提供。

                专用复用光学▓平台布置下列器件:

                1-激光器  2-衰减器   3-定向孔  4-移动反射镜  5-移动分ㄨ光镜     6-反射镜  7-物镜  8-准直透镜  9-分光棱镜  10-共焦显微镜  11-多功能试件夹及组合工作㊣台  12-带PZT压电陶瓷驱动的组合工作台(必须包含)  13-衍射试件平台ぷ  14-成像透镜  15-目镜   16-可调光阑  17-光电接收器  18-导轨19-直角棱镜   20-傅氏透镜  21-五维调节架  22-光纤分束器  23-光纤  24-外置式〇光纤传感器  26-内置式光纤传感器 27-光纤夹持器〖  28-备用试件架

                各种光学元件的切换与配置,组合成各种光学物理系统,实现定性观察与定量测试的多功●能,最终由光电接收器接收,并将信号送入计算机系统,完成实验●内容的显示与计算。

                光电处理与⌒ 显示:

                光电与计算机处理部分由图所示。上述光信息经←CMOS图像系统转换成光电信号,再

                经模/数变换(A/D)形成数字信号,将此数字信号经USB接口进■入计算机作处理,完成实验显示及相应实验的计算定量,在专用软件的操作下实现所有实验。

                软件使用与操作:

                激光多功能光电测试实验仪配套软件是基于WINDOWS操作系统的♀应用软件,为配合各实验的顺利完成,该软件包主要有两部分组成:1. 激光多功能光电测试系统实验ξ 仪综合软件(Csylaser);2.干涉图〗的条纹自动分析软件(Wave必须包含。所有实验项目均在计算机上完成。

                主要由下列七部分系统组成:

                1.Tyman-Green干涉系统(采用数Ψ 字干涉技术)

                激光经衰减器♀调节光强,小孔定向,扩束镜扩束,分光棱镜分光〓后,一路由工作台上试件返回,形成参考光,一路由工︽作台上试件返回形成物光,再返回分光镜形成干涉场,经透≡镜成像光阑22滤波(选装)后,在CMOS上形成稳定干涉图样,由计算机程序实现︼参数显示与计量。

                TG干涉系统用于实验1 5

                2.散斑干涉系∏统(采用数字△干涉技术)

                激光扩束,经分光,形成两幅相干散斑图,返回经合光,会聚,滤波,成像至CMOS上。

                本光》路用于实验1317

                3.衍射计】量系统

                激光经光学器件转向,射向衍射试件(试件夹中)产生衍射,经会聚成◣像,至接收,送计算机显示器观察,并对部分试样实现定标№与计量。

                本光路』用于实验69

                4.共焦测量系▃统

                激光经扩束,经显微透镜组在◥共焦试件上聚焦,聚焦光束返回透射恢复成平行光,继由会聚透镜组聚焦于针孔,并在CMOS上形成弥散斑图像。共焦试件轴向高程变化对应╱弥散斑圆直径变化,经█程序计算,实现定量检测。

                本光路用于实验1819

                5.纳米№测量光学系统(采用数字干涉技术)

                激光经〒转向,分光,试件折成两束近距平行光,会聚于焦平面上一点,移动使该点放大成像,将看≡到比普通干涉条纹更灵敏的纳米干涉〓条纹,装上PZT压电陶瓷驱动》试片,控制PZT的驱动波形与干涉条纹,计数,均由计算机实现。

                本光路用于实验2021

                6. 傅氏变换光学∮系统

                FT:激光经定向孔定向,扩束,经透射FT试件。试件可选位↑于FT透镜之前后、之后、前〓焦面等处,在透镜后焦面前后寻找试件频谱,成像显示于计算机上。

                IFT:激光经定向孔定向,经透镜扩卐束,经透射FT试件。将物体频谱面图像恢复成试片图案。

                图像处理:在IFT光路中插入波片,将改变IFT后图像的象素与对比度。

                本光路用于实验1112

                7.光纤传感系统(采用数字干涉技术

                激光经平面反射镜至目镜,实现最大光强耦合,进入干涉◥调制系统,形成两相干▲光束,经定位,投影,光纤调制电源的波形控制与干涉条纹的处理由计算机程序实现√。本光路用于实验2223

                8. 偏振实验系统(用户选配部分)

                 线偏振光的特性测试方法

                 马吕斯定律及其⌒验证实验

                椭圆偏振︾光和圆偏振光的判断方法

                布儒斯特角↑产生线偏振光的实验

                实验项目:

                实验一  精密位移量的激光干涉测量ㄨ方法及实验

                实验二:数字干涉测量方法及实∞验

                实验三:面形的三维干涉测量及评价(PV值与RMS值)

                实验四、光学系统的波差测量

                实验五、光学系统的PSFMTF评价

                实验六  缝宽或〒间隙的衍射测量

                实验七  微孔直径的衍射测量

                实验八  巴俾特原理及细▽丝直径测量

                实验九  变形的全→场衍射测量

                实验十  透镜的FT性质及常用函数与图形♀的光学频谱分析

                实验十一  4f光学系统FTIFT系统实验

                实验十二  图像信息处理的光学实现

                实验十三 光散斑的性质及测试☆方法

                实验十四  面内位移的散斑测◥量

                实验十五  形变的散斑№测量

                实验十六  速度的散斑测量卐

                实验十七  激光共焦㊣测量的原理及实验

                实验十八  三维形貌层析的共焦测量

                实验十九  位移的纳米测ω 量方法

                实验二十  微弱振动的纳米量级监视实验㊣ 

                实验二十一  光纤传感技术的原理实】验

                实验△二十二  光纤传感的温度测量实验

                实验二十三↑  光纤传感〗的压力测量实验

                偏振实验(用户选配实○验项目)

                实验二十四  线偏振光的特性测试方法

                实验二十五  马吕斯定律及其验证实验

                实验二十六¤  椭圆偏振光和圆偏振光的判断方法

                实验二十七  布儒斯特角产生线偏振光的实验

                仪器规格:720×600×300mm,重量75kg 

                 

                 《光电Ψ 测试技术》实验教学大纲

                课程编号:

                课程名称:光电测试技术/Photoelectric testing technology        实验总学时数16

                适用专业:电子科学与技术、光信息科学与技■术       承担々实验室:信息工程学院电子科学与技术实验室

                CSY10L型激光多功能光电测试系统『实验仪(浙江大学研发)

                一、实验教学目☆的和任务

                与《光电测试技术》课程相配套的实验课程,包括了激光干涉、散斑、衍射及光电共焦等实验。要求学生通过实验学会正确使∞用测试仪器,了解和掌握现代激光光电测试的一些主要原理和方法,能熟练搭建光路完成各项实验要①求。

                 二、实验项目及〓学时分配

                 

                实验项目名称

                实验学时

                实验类型

                开出要求

                1

                精密位移量的激光干涉测∴量方法

                2

                综合

                2

                数字干涉测量方法

                2

                综合

                3

                光学系统的波差测量

                2

                综合

                4

                巴俾¤特原理与细丝直径测量

                2

                综合

                5

                变形→的全场衍射测量

                2

                综合

                6

                光散斑的性质及测试方法①

                2

                综合

                7

                离面位移(形变)的散斑测量

                2

                综合

                8

                位移的纳米级测ω量方法

                2

                综合

                   计

                16

                 

                 

                 

                三、每项实验的内〇容和要求

                1.精密位移量的激Ψ光干涉测量方法

                1)了解激光干涉测量的原理

                 (2)掌握微米及亚微米量级位移量的激光干涉测量方法

                3)了解激】光干涉测量方法的优点和应用场合

                所用设备:CSY10L型激光▲多功能光电测试系统实验仪

                2.数字干涉测量方法

                1)了解激光干涉的近代方法

                2)掌握干涉的实时检测技术

                3)了解数字干涉方〖法的特点和应用场合

                所用设备:CSY10L型激光多功能∮光电测试系统实验仪

                3.光学系统的波差测量

                1)了解光学系统波差的基本物理概念

                2)掌握光学系统波差的激光干涉测量方法

                所用设备:CSY10L型激光多功能光→电测试系统实验仪

                4.巴俾特原理与细丝直径测量

                1)了解巴俾特原理

                2)利用互补测定法测量细丝直径

                所用设备:CSY10L型激光多功能光电测试█系统实验仪

                5.变形的全场衍射测量

                1)用全场衍射测量变形

                所用设备:CSY10L型激光⌒ 多功能光电测试系统实验仪

                6.光散斑的性质及测试方法

                1)了解散斑的性质及特点

                2)掌握散斑□的测试方法

                所用设备:CSY10L型激光多功能光电测试系统实验仪】

                7.离面位移(形变)的散斑测量

                1) 进行离面位移的散斑测量

                所用设备:CSY10L型激光多功能光电测试系统实验仪

                 8.位移的纳米级测量方法

                1)建『立纳米测量的概念,了解其实现〖方法

                2)利用笔束激光干涉法进行纳米量级的∮位移测量

                所用设备:CSY10L型激光多功能光电测试系统实验仪

                四、课程改革与特色

                本实验课程克服了传统光学和光电测试技术的不足,将激光与计ω 算机技术相结合,实验内容新颖、技术先进、功能多样,体现了近代ㄨ光学测试技术中的非接触性、高灵敏性、三维性及实用性。可以使学生在掌握光学测试技术中的基本原理∮和方法的基础上,在以后的※应用中做到举一反三,提高学生的实际动手能ぷ力和设计能力。

                 五、教材及实验指导书

                范志刚主Ψ 编:《光电测试技术》,电◥子工业出版社,2004年出版。

                电子科学与技术教研室自编:《光电测试技术实验指导书》,2005年

                 执笔:葛华

                审阅:胡耀祖    日期:2005.7

                审定:吕  锋    日期:2005.7  

                                                  

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