1. 测量范围
电阻率:10-4-105 Ω.cm
电导率:10-5-104 s/cm
方块电阻:10-3-106 Ω/□(可扩展)
电阻:10-4-105 Ω
可测晶片直径: 140mmX150mm(配 S-2A型 测试台)
Φ200mm(配 S-2B型 测试台)
400mmX500mm(配 S-2C型 测试台)
2 恒流源
电流量程分为 1μA,10μA,100μA,1mA, 10mA, 100mA 六档,各档电流连续可调。
3. 数字电压表
量程及表示形式:000.00-199.99 mV
分辨力:10 μV
输入阻抗:> 1000 MΩ
精度: ±0.1%
显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示
4. 四探针探头基本指标
间距:1±0.01mm
针间绝缘电阻: ≥1000 MΩ
机械游移率: ≤0.3%
探针:碳化钨或高速钢 Ф0.5mm
探针压力:5-16 牛顿(总力)
5. 四探针探头应用参数
(见探头附带的合格证)
6. 模拟电阻测量相对误差(按 JJG508-87 进行)
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
7. 整机测量最大相对误差
(用硅标样片:0.01-180Ω.cm 测试)≤±5%
8. 整机测量标准不确定度
≤5%
9. 外型尺寸(大约)
电气主机: 420mm×320mm×100mm
S-2A型 测试台: 190mm×140mm×250mm
S-2B型 测试台: 300mm×210mm×400mm
S-2C型 测试台: 500mm×400mm×400mm
10. 仪器重量(大约)
电气主机: 3.5kg;
S-2A型 测试台: 2kg;
S-2B型 测试台: 3.5kg;
S-2C型 测试台: 4kg;
11. 标准使用环境
温度: 23±2℃;
相对湿度:≤65%;
无高频干︼扰;
无强光直射;